故障1：真空泵不啟動的故障
原因及處理：泵油的粘度不好，型號不對，其次，溫度對泵油也有影響，尤其在季節(jié)交替變化時尤為明顯，特別是當(dāng)泵長時間不啟動時會引起負高壓丟失，這種情況就比較嚴重了，因為，要再次抽真空需要10多個小時，對于快節(jié)奏的生產(chǎn)勢必會造成很大的損失的，所以盡量避免負高壓丟失的情況發(fā)生，尤其是當(dāng)泵不自動啟動時一定要手動按動泵電機處的綠色開關(guān)，如不啟動，應(yīng)檢查一下，分析軟件中的泵運行狀態(tài)的信號是否處于ON的狀態(tài)，如果是OFF應(yīng)等待直到變?yōu)镺N再去手動按開關(guān)，另外，到了冬天室內(nèi)溫度不要太低，也應(yīng)保持在15度以上，對于泵油的型號，泵不同，油就不同，一定要確保泵和油的型號要一致，油時間長了，如果發(fā)黃比較渾濁，就應(yīng)該考慮換油了。當(dāng)真空度太好的話，泵啟動也很困難，因此需要對真空室蓋板的內(nèi)六角螺栓進行調(diào)節(jié)，以增加泵的機械效率。經(jīng)驗證，利用此法會使泵的啟動故障改善很多。
故障2：負高壓突然消失
由于真空值長時間上不去，導(dǎo)致負高壓消失，
處理方法：將控制箱的第二個地線進行拔插反復(fù)試幾次就好了。如果仍然不行就考慮重啟儀器了。
故障3：碳異常偏高
原因：氬氣不純，需要換氣，先用高純氬氣試一下。
故障4：排氬管路堵塞
現(xiàn)象：出現(xiàn)樣品上跳，無法分析
原因：排氬管路內(nèi)部有臟物
處理：清理氬氣過濾器 排氣管
故障5：光強值偏低
原因：聚光鏡臟 狹縫臟 光電倍增管性能下降
處理：擦聚光鏡、清理狹縫、更換對應(yīng)的光電倍增管
故障6：激發(fā)聲音異常
原因：分析時激發(fā)臺板小孔沒蓋嚴
處理：樣品為全部將激發(fā)小孔蓋上
