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等離子清洗機(jī)-等離子體故障維修分析
【作者】:YX 【發(fā)布時(shí)間】:2023-3-21 【來(lái)源】:上海仰光電子科技有限公司
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等離子體相關(guān)故障

等離子體相關(guān)的故障可以分為不產(chǎn)生等離子體和等離子體密度低。

1.不產(chǎn)生等離子體

不產(chǎn)生等離子體的主要問(wèn)題有以下幾種情況:

(1)射頻電源損壞

措施:檢查射頻源輸出信號(hào)、射頻電纜、匹配網(wǎng)絡(luò),對(duì)故障點(diǎn)進(jìn)行維修。

(2)真空問(wèn)題

措施:檢查各連接處的漏率,對(duì)漏率比較大的密封圈進(jìn)行更換;檢查真空泵組。

(3)壓力過(guò)大或過(guò)低

措施:檢查氣源壓力;檢查壓力閥;檢查真空閥。

2.等離子體密度低

等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質(zhì)量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。

上海仰光電子維修工程師具有超過(guò)二十年的精密儀器儀表和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備維修經(jīng)驗(yàn),擅長(zhǎng)維修進(jìn)口精密儀器儀表。仰光電子儀器儀表維修具有排除速度快,維修成功率高的優(yōu)勢(shì)。我公司擁有充足的各種精密儀器儀表的配件,以及很多市場(chǎng)上罕見(jiàn)的配件庫(kù)存,部分維修配件來(lái)自于原廠進(jìn)口供給。我們擁有大部分儀器儀表型號(hào)的電路板示意圖和說(shuō)明書(shū),為快速、準(zhǔn)確維修儀器儀表打下了良好的基礎(chǔ)。